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上海光通信申请曝光机的光罩对准控制方法与装置专利,可提高曝光机的产能

2026年08月15日 08:18
 

国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司申请一项名为“曝光机的光罩对准控制方法与装置”的专利,公开号CN122172516A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请实施例提供一种曝光机的光罩对准控制方法与装置,曝光机包括测量端与曝光端与控制端,测量端用于放置晶圆,包括第一传感器,曝光端用于利用光罩曝光所述晶圆并且包括第二传感器与第三传感器,方法包括:获取第二传感器与光罩之间的第一相对位置关系、第一传感器与晶圆之间的第二相对位置关系、第三传感器与第二传感器之间的第三相对位置关系以及第三传感器与第一传感器之间的第四相对位置关系,基于第一相对位置关系、第二相对位置关系、第三相对位置关系与第四相对位置关系,得到光罩与所述晶圆之间的第五相对位置关系,基于所述第五相对位置关系,控制光罩与晶圆对准。基于本申请提供的方法,可提高曝光机的产能。

天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目54次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息96条,此外企业还拥有行政许可183个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。